Die Kooperationspartner des BASF und Fraunhofer IPMS vor der Prozessanlage „LAM Sabre Extreme“ Foto: Fraunhofer IPMS

BASF und Fraunhofer IPMS: Zehn Jahre Zusammenarbeit

Publiziert

BASF und das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) feiern das zehnjährige Jubiläum ihrer Kooperation, die sich auf die Entwicklung innovativer Lösungen für die Halbleiterproduktion konzentriert. Gemeinsam haben die beiden Partner im Rahmen des „BASF Plating-Lab“ massgeschneiderte Technologien erarbeitet, die zu effizienteren und kostengünstigeren Verfahren in der Chipintegration beitragen.

Im Zentrum der Zusammenarbeit steht das Fraunhofer Center Nanoelectronic Technologies (CNT) in Dresden, wo BASF und Fraunhofer IPMS gemeinsam neue Chemikalien und Prozesse für elektrochemische Verfahren getestet haben. Diese kommen in der Mikrochipproduktion zum Einsatz, indem sie die Verdrahtungsstrukturen innerhalb eines Chips durch galvanische Abscheidung optimieren. Insgesamt wurden über 12.000 Prozessstarts realisiert, was es den Kunden ermöglicht, die neu entwickelten chemischen Pakete direkt in ihre industriellen Fertigungsprozesse zu integrieren.

Ein entscheidender Vorteil dieser Zusammenarbeit ist die Nutzung der 300-mm-Reinrauminfrastruktur des Fraunhofer IPMS. Hier installierte BASF eine hochmoderne Prozessanlage, die mit denselben Standards arbeitet wie in der industriellen Produktion. Dies hat die Entwicklungszeiten deutlich verkürzt und den Qualifizierungsaufwand für Kunden gesenkt. Firmen wie Bosch, Infineon und GlobalFoundries profitieren von diesen Fortschritten.

Zusätzlich wird die Kooperation durch das lokale Netzwerk Silicon Saxony verstärkt, das eine enge Zusammenarbeit mit anderen Einrichtungen wie der Dresdner Niederlassung des Fraunhofer-Instituts IZM-ASSID ermöglicht. Dieses Netzwerk erlaubt es, gezielt Lösungen für die globalen Industriepartner des Fraunhofer IPMS zu entwickeln.

Mit dem kürzlich gegründeten Forschungszentrum CEASAX („Center for Advanced CMOS and Heterointegration Saxony“) wird die Zusammenarbeit weiter intensiviert, insbesondere im Bereich der Heterointegration von Mikrosystemen. Dadurch sollen künftig noch anwendungsorientiertere Lösungen für die Herausforderungen in der Halbleiterindustrie erarbeitet werden.

Diese langjährige Partnerschaft zwischen BASF und Fraunhofer IPMS zeigt eindrucksvoll, wie Forschung und Industrie durch enge Zusammenarbeit Innovationen vorantreiben und massgeschneiderte Lösungen für die steigenden Anforderungen der Halbleiterproduktion bieten.

EVENTS

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Transfoming Industry Togheter

Datum: 31. März-04. April 2025

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Internationale Fachmesse für Sensorik, Mess- und Prüftechnik

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Europäische Fachmesse für innovative Laborausstattung und die Optimierung von Labor-Workflows

Datum: 20.-22. Mai 2025

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CosmeticBusiness

Entdecken Sie innovative Verpackungslösungen für eine nachhaltige Zukunft der Kosmetikindustrie

Datum: 04.-05. Juni 2025

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The Pharma Days

Die Pharma Days (TPD) sind eine Veranstaltung unter Ausschluss der Öffentlichkeit, die Zusammenarbeit, Innovation und Geschäftswachstum vorantreiben soll.

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Die Leitmesse für intelligente Automation und Robotik

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Weltleitmesse und Kongressfür Komponenten, Systeme und Anwendungen der Photonik

Datum: 24.-27. Juni 2025

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CMS Berlin

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Datum: 23.-26. September 2025

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POWTECH

Pharma.Manufacturing.Excellence

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FachPack

Europäische Fachmesse für Verpackung, Technik, Veredelung und Logistik

Datum: 23.-25. September 2025

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Rehacare

Die REHACARE ist die internationale Fachmesse für Rehabilitation, Prävention, Inklusion und Pflege.

Datum: 17.-20. September 2025

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IN.STAND

Die Messe für Instandhaltung und Services

Datum: 21.-22. Oktober 2025

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CPHI

Eine globale Gemeinschaft zur Förderung der menschlichen Gesundheit.

Datum: 28.-30. Oktober 2025

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A + A

Messe und Kongress für Arbeitsschutz und Arbeitssicherheit

Datum: 04.-07. November 2025

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AQUA Suisse

Die Schweizer Fachmesse für kommunales und industrielles Wassermanagement.

Datum: 26.-27. November 2025

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maintenance Schweiz

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Datum: 26.-27. November 2025

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Datum: 26.-27. November 2025

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Swissbau

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The Future of Packaging Technology

Datum: 28.-29. Januar 2026

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aqua pro

B2B-Plattform in der Schweiz für Fachkräfte des globalen Wasserkreislaufs

Datum: 04.-06. Februar 2026

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Weltleitmesse für Labortechnik, Analytik, Biotechnologie und analytica conference

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Siams

Die Messe der Produktionsmittel der Mikrotechnik

Datum: 21.-24. April 2026

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ArbeitsSicherheit Schweiz

Fachmesse für Arbeitssicherheit, Gesundheitsschutz und Gesundheitsförderung am Arbeitsplatz

Datum: 20.-21. Mai 2026

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Fachmesse für Industrieautomation

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Ilmac Lausanne

Networking. Forum. Aussteller

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VISION

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Weltleitmesse und Konferenz der Elektronik

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ALL4PACK EMBALLAGE

The global marketplace for Packaging Processing Printing Handling

Datum: 23.-26. November 2026

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VALVE WORLD EXPO

Weltweite Leitmesse für Industrie-Armaturen

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Achema

Internationale Leitmesse der Prozessindustrie

Datum: 14.-18. Juni 2027

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drupa

Weltweit führende Fachmesse für Drucktechnologien

Datum: 09.-17. Mai 2028

Ort: Düsseldorf (D)

Bezugsquellenverzeichnis